掃描電鏡簡單操作流程

一、樣品裝載和開機：
1、樣品制作、安裝。（根據樣品導電性強弱來判定是否鍍膜）
2、打開電腦、顯示器及電鏡電源。
3、替換樣品臺，按Exchange 鍵，抽真空。（換樣前若樣品室有真空，需提前釋放。）
4、開軟件，雙擊桌面的SENSE-SEM圖標,等待軟件運行。

SS-150掃描電鏡

二、測試：
1~11為整個測試的操作流程，14為練習內容,可以比較樣品臺高度Z不同，電鏡測出圖片效果。Z最低，圖片景深好。Z比最低點高，圖片清晰度好。
1、調樣品臺高度，Z軸調最低點位置 ，最小值-22.0（大約）?！緦嶋H測樣中樣品臺高度要根據樣品情況來調整】
2、選合適加速電壓、探測器類型及高真空模式后，點擊“start”開始調試。
3、放大畫面前實時圖像若為白色，向右調節第一聚光透鏡電流CL1。（CL2為最右端）。
4、Collector-CLT收集器、Amplifier-PMT放大器，一般調最大。
5、在實時圖像模式調粗聚焦，Z為-22.0(自動平臺控制盒有顯示)時，W/D調為20（不同機型，W/D值有所差異），圖像會清晰。Z固定一個高度時，W/D只需調一次。
6、移動樣品臺位置，調X/Y軸和Beam shift光束位移使樣品測試部位在畫面中間。
7、打開wobble功能，旋轉光闌桿X/Y軸，使光闌孔對齊，圖像不晃動。（SS-60無此步驟）
8、調微聚焦，畫面清晰。放大需要的倍數，重復調微聚焦。
9、調Stigmation消像散，X、Y值±20%，重復調微聚焦，圖像會更
清晰。（圖片放大倍數小于3千-5千倍，可不用調Stigmation。）
10、適當調整Contrast對比度和 Brightness亮度。
11、Photo Mode3掃描，存儲圖片。
12、如需測試樣品其它部位，縮小倍數，重復上述6~11步驟。
13、如需測試其它樣品，先點擊軟件“stop”按鈕，待顯示出start，按設備上的Exchange鍵，釋放真空，之后更換樣品，再按Exchange 鍵，抽真空，重復以上1~11步驟。
14、改變樣品臺高度，Z軸-12，W/D調為5，圖像會清晰。再重復上述6~11步驟。

三、關機：
1、點擊軟件“stop”按鈕，停止采集圖像，再關軟件退出。
2、只關電鏡電源，不要釋放真空。（樣品室真空狀態，可保護鎢絲不被大氣氧化）
3、如果不用電腦，可以關閉電腦。
注意：
1、sense軟件打開前，電鏡電源需開啟，SEM-PC電纜連接良好，否則會提示報錯。
2、如果在第二步的2中，點擊“start”前，真空需抽完，否則點擊“start”無反應；點擊“start”后，電子束電流值顯示40~60uA，實時畫面會不出圖像，此時需更換新鎢燈絲。
3、在實際中會需要不同倍數的圖片，所以在第二步的8中，放大倍數應按需要的最大倍或更大來調整，圖像調清晰后,縮小需要的倍數即可，不用再聚焦。
4、樣品室內必須保持清潔，不允許有雜物、碎屑等觸碰到探測器。