SS300 掃描電子顯微鏡

SS300大型鎢燈絲掃描電鏡是一款高性能鎢燈絲掃描電鏡，采用全自動樣品臺，配備倉內紅外CCD攝像頭，有效監控倉內樣品，防止樣品與極靴碰撞。

分辨率：3nm (30kV,SE); 5nm(10kV,SE); 8nm(3kV,SE); 4nm(30kV,BSE)

放大倍數：4x ～ 300,000x，連續可調

加速電壓：0~30kV ，連續可調

檢測器：二次電子圖像(SE) ，背散射檢測器(BSE)，紅外CCD攝像頭

電子槍：翻開式預對中鎢燈絲，探針束流范圍：1pA~2000nA，帶束流測量功能

透鏡系統：多級高性能錐形透鏡系統

擴展接口：樣品室提供不少于6個可擴展接口，可外接各類附件和探測器（例如EDS\EBSD\EBIC\CL等）

樣品臺：五軸全自動樣品臺同，配備氣浮減震系統；承重2kg

樣品臺行程：X=70mm,Y=50mm,Z=50mm，R=360°, T=-10°～+70°

樣品尺寸： 220mm(Diameter) / 50mm(Height)

軟件控制：可自動對焦、對中、消像散，圖像測距功能，添加尺寸、標注，計算周長、面積，標注箭頭、角度等

圖像存儲格式：BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系統：渦輪分子泵+機械泵；樣品室最高真空度優于6E-4 Pa，含真空測量與顯示設備，全自動真空控制，抽真空時間小于5分鐘

操控系統： DELL工作站，其配置不低于：5 四核3.2GHz，HD顯卡530；DDR4 8G內存；24"液晶顯示器；500G高速硬盤；光電鼠標，鍵盤，軌跡球

尺寸：電子光學鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

安裝環境: 溫度15℃~30℃，濕度，小于75%

電源， 200~240V AC, 1KW, 50/60Hz

能譜儀參數：

品牌型號：Oxford 30

大面積電制冷能譜儀1臺

該能譜儀為分析型SDD硅漂移電制冷探測器，具有50mm²晶體面積，30mm²有效面積，高分子超薄窗設計，無需液氮冷卻，僅消耗電能。

能量分辨率：Mn_Ka處優于129eV，符合ISO 15632:2012標準

元素分析范圍: B5～Cf98

具備零峰修正功能，可以快速穩定譜峰，開機后無需重新修正峰位。

元素面分布圖分辨率最高達4096*4096像素；可從面分布圖上進行譜圖重建。

離子濺射儀參數：

濺射方式：磁控濺射

可選靶材金、鉑、金鈀合金、銀鉛、銅、鉻、銻等

彩色液晶屏顯示，屏幕不小于5英寸；

最大濺射電流不小于30mA，最小濺射電流不大于3mA，步進量為1mA;

最長濺射時間不小于900秒；

具備電流保護和真空保護功能，在電流過大、真空度較差時保證設備安全；

極限真空優于1Pa；

真空室采用高硅片玻璃φ128×100mm；

可實時顯示靶材使用時間和設備工作時間；

可用實時曲線顯示濺射電流和真空度。

附件：

配備預對中鎢燈絲10根，

  雙面導電膠3卷，  

樣品臺20個，

真空脂1盒，

拋光膏1管，

機械泵油1桶；

附贈電鏡專用工具箱1個，含鑷子、六角扳手、一字改錐、墊片等專業工具用于掃描電鏡的安裝和維護。